简单介绍
OLYMPUS MX61/61L 产品特点缩短检查用时，提高检查效率自动聚焦附件 MX-AF透射光检查照明 MX-TILLA/MX-TILLBMX专用的自动聚焦附件可配合所有的反射光照明观察方式，甚至包括暗视场和微分干涉相衬观察。
MX61L 详细介绍
■ 大型载物台搭载：可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圆全面检查(MX61L)
■ 采用高NA的透射光聚光镜，图象更锐利
■ 多种观察方式，多种照明方式，多种附件以满足不同应用要求
■ 透射和反射照明可同时使用，极大提高液晶基板观察效果
