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Kunshan Huanair Precision Instrument Co;Ltd

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在线film膜厚测试仪
【产品名称】在线film膜厚测试仪
【所属类别】光学膜厚测试仪
【产品人气】5827
【更新日期】2017/2/22 13:48:02
详细介绍
在线film膜厚测试仪
在线film膜厚测试仪在线film膜厚测试仪

应用场合:
本在线film膜厚测试仪应用在透明及半透明材料的厚度或涂层的测量,包括半导体镀膜,光刻胶,玻璃减反膜测量,蓝宝石镀膜,ITO玻璃,太阳能镀膜玻璃,各种衬底上的膜厚,膜的颜色测量,卷对卷柔性涂布,其他需要测量膜厚的场合等,无论有无底材或者底材是何种材料均无影响。应用在精密半导体wafer,ITO玻璃,fpc或pcb膜厚,材料表面光学镀膜,电镀阳极处理,UV胶厚等领域。

原理介绍:
利用光谱反射测量PET涂布的膜厚和涂层厚度
质量控制,生产过程控制
用于PET涂布膜厚和涂层检测

软件特点:
1、菜单管理
2、实时在线监控和历史数据界面
3、可根据客户要求定制界面

运动机械配置:

X轴测量

自动

测量最大宽度

2m(可根据客户要求调整)

X轴最大移动速度

0.1m/s

单向扫描时间

18秒测18个点(标准)

马达传动系统

1套

大型滑轨

2.0m(可根据用户要求调整)

大支架

1套

控制箱+线槽

1个(PCB板,连线,电源,路由器)


电脑配置

  网线

25米超5类线

 网络适配器

路由器+其他网络配件

 电脑(台式机一台)

19寸TFT显示屏, Intel CPU

,鼠标+键盘+3年保质期


测量系统配置

  反射(0度入射角)配件

光学器件,光源, 特殊机械配件, 光纤光谱仪,光纤, 硅片


技术参数(光学部分):

测试方式

膜面反射

波长范围

380-820(可见光)湿膜/380-1050(可见光),干膜

厚度测量范围

100纳米-200微米(可见光)

精度

0.5%(30次单点测量1阶标准差)

测量单点时间

小于1秒

测量点

1mm (0度角反射)

光源和寿命

钨卤素灯 平均预期寿命10,000小时

操作环境

5-35度;5-90%不结霜

入射角

0度角

表中的性能指标还和材料,膜层结构,粗糙度等有关

软件

  1套

一套测量软件和膜厚仿真拟合软件

软件系统功能:


1、光谱反射,计算出膜厚参数;

2、系统有手动、自动、系统校准模式。手动模式时,可在计算机上控制测量,膜到位后,按测量按钮即测量该点的光谱膜厚;自动测量模式时在膜到位后进行自动测量;系统校准模式时,检查系统设置,硬件状态等。

3、膜厚度的历史趋势曲线,丰富的公差和报警阈值设定功能,如可设定公差带和报警阈值。

4、存储、管理测量系统的测量结果,方便回溯

5.仿真不同角度的膜面反射反射光谱曲线。可用于膜系开发。

6、具有数据人工备份功能,以防数据意外丢失;系统安装完毕后,提供系统备份硬盘,防止原始系统意外损坏;

7、打印颜色参数扫描曲线,数据表,打印光谱曲线,打印屏幕图像等功能;

8、系统全部操作均在控制室内计算机上完成。

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端子截面分析仪
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