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| 規格 | ||
| 型號 | IS654 | IS864 |
| 量測行程 | 500 X 600 X 400 mm ( X ,Y , Z ) | 600 X 800 X 400 mm ( X ,Y , Z ) |
| 量測精度 | U1=3 + L / 250 um | U1=4 + L / 250 um |
| 光學尺解析度 | 1 um | |
| 環境 | 溼度：40%~70%; 溫度：18℃~22℃ | |
| 驅動方式 | Air Bearing on all Axes | |
| 外觀尺寸 | 1100 X 1360 X 2400 mm ( L ,W , H ) | 1350 X 1450 X 2400 mm ( L ,W , H ) |
| 工件限重 | 300 kg | |
| 機台重量 | 860 kg | 1300 kg |
| 必選配備 | ||
| 電子測頭 | MCP | MH20i |
| 光學尺解析度 | 0.5 um | 1 um |
| 量測軟體 | MSU3D-PRO、KCMM-PLUS | |
| 選購配備 | ||
| 鏡頭 | 段式鏡頭 | ZOOM式鏡頭 |
| CCD Camera | 1/2" chip | 1/3" chip |
| LED環形光源 | 單段式 | 四段式 |
| LED光源控制器 | 2通道 ( 可程式控制 ) | 6通道 ( 可程式控制 ) |
| 支援軟體 | WINQC、3D-VIEW | |