应用介绍
本film膜厚测试仪应用在透明及半透明材料的厚度或涂层的测量，包括半导体镀膜,光刻胶，玻璃减反膜测量，蓝宝石镀膜,ITO玻璃，太阳能镀膜玻璃，各种衬底上的膜厚，膜的颜色测量，卷对卷柔性涂布，其他需要测量膜厚的场合等，无论有无底材或者底材是何种材料均无影响。应用在精密半导体wafer,ITO玻璃，fpc或pcb膜厚，材料表面光学镀膜，电镀阳极处理，UV胶厚等领域。
系统结构：
产品型号 | A3-ST-100 | A3-SR-100 | A3-ST-200 | A3-SR-200 | A3-ST-300 | A3-SR-300 |
产品尺寸
| W270*D217*H90 测试支架 （可根据客户需求调整） | W270*D217*H90 测试支架 （可根据客户需求调整） | W270*D217*（H90+H140） 测试支架 （可根据客户需求调整） | W270*D217*（H90+H140） 测试支架 （可根据客户需求调整） | W270*D217*H90 测试支架 （可根据客户需求调整） | W270*D217*H90 测试支架 （可根据客户需求调整） |
测试方式 | 可见光(VIS ) 透射(T) | 可见光VIS 反射(R) | 紫外+可见UV+VIS 透射(T) | 紫外+可见+UV+VIS 反射(R) | IR 透射(T) | IR 反射(R) |
波长范围 | 380 - 780 nm | 380 - 780 nm | 250 - 1000 nm | 250 - 1000 nm | 900 - 1200 nm | 900 - 1200 nm |
光源 | 钨卤素灯 | 钨卤素灯 | 钨卤素灯+氘灯 | 钨卤素灯+氘灯 | 钨卤素灯 | 钨卤素灯 |
光路和传感器 | 光纤式(FILBER )+进口光谱仪 | |||||
入射角 | 0 度 (垂直入射) (0 DEGREE) | |||||
参考光样品 | 硅片 | |||||
光斑大小 LIGHT SPOT | About 1 mm（标配，可以根据用户要求配置） | |||||
样品大小 SAMPLE SIZE | 10 mm TO 300 mm (可以根据用户要求配置) | |||||
测试方式 | 反射， 透射 |
透射准确性 Transmission Accuracy | 1% |
反射准确性 Reflaction Accuracy | 1% |
精度
| 0.1% |
膜厚测量性能指标（THICKNESS SPECIFICATION）：
产品型号 | A3-SR-100 | A3-SR-200 | A3-SR-300 |
厚度测量1 Thickness | 15 nm - 100 um
| 2nm - 200 um | 500nm-1000um |
折射率1（厚度要求） N | 100 nm 以上 | 50nm and up | --------------- |
准确性2 Accuracy | 2 nm 或0. 5% | ||
精度3 precision | 0.1 nm | ||
1、表内为典型数值, 实际上材料和待测结构也会影响性能
2、使用硅片上的二氧化硅测量，实际上材料和待测结构也会影响性能
3、使用硅片上的二氧化硅（500纳米）测量30次得出的1阶标准均方差,每次测量小于1秒.
软件(SOFTWARE)：
检测项目 | 标准型 |
层数 | 10 层 |
材料 | 表格型和函数型 |
粗糙度模型 | 有 |
反射/透射 | 反射型+透射型 |
材料库 | 表格型+函数型 |
入射角 | 垂直入射 |
折射率测量 | 有 |
售后服务（GARANTEE AND ASERVICE）：
基本服务 |
1年免费软件升级 |
1年材料库更新 |
1年免费失效零件更换(灯泡,光纤,硅片除外) |
