日立高新推出的扫描电镜SU3800/SU3900兼具操作性和扩展性，结合众多的自动化功能，可高效发挥其高性能。SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察。
配备多功能超大样品仓，搭载多样自动化与辅助功能，操作便捷；可配置多种探测器，提供适配不同测试需求的应用解决方案，支持分子级别案例观察。
丰富应用场景，支持半导体器件、材料科学、生命科学**三大领域的微观观察与分析，满足多行业研发与品控测试需求。
规格
| ITEM | SU3800 | SU3900 |
|---|
| 二级电子分解能 | 3.0nm（加速电压30kV、WD=5mm、高真空模式） |
|---|
|
| 背散射电子分解能 | 4.0nm（加速电压30kV、WD=5mm、低真空模式） |
|---|
| 倍率 |
|---|
| ×7～×800,000（实际显示倍率*2） |
| 加速电压 |
|---|
| 低真空度设定 | 6～650 Pa |
|---|
| 图像位移 |
|---|
| 最大样品尺寸 | 200mm直径 | 300mm直径 |
|---|
| 样品台 | X |
|---|
| Y | 0～50mm | 0～150mm |
|---|
| Z |
|---|
| R | 360°连续 |
|---|
| T |
|---|
| 最大可观察范围 | 130mm直径（R并用） | 229mm直径（R并用） |
|---|
| 最大可观察高度 |
|---|
| 电机驱动 | 5轴电机驱动 |
|---|
| 电子光学系统 | 电子枪 |
|---|
| 物像镜头光圈 | 4孔可动光圈 |
|---|
| 检测系统 |
|---|
| EDX分析WD | WD＝10mm（T.O.A＝35°） |
|---|
| 图像显示 | 自动光轴调整功能 |
|---|
| 自动光轴调整（实时级别对齐） |
|
| 自动图像调整功能 | 自动亮度和对比度控制（ABCC） |
|---|
|
| 自动标记和焦点功能（ASF） |
|
| 自动光束对准（ABA） |
|
| 操作辅助功能 | 电子束旋转、动态聚焦、图像质量改善功能、数据输入（点对点测量、角度测量、文本）、预设放大、样品台位置导航功能（SEM MAP）、光束标记功能 |
|---|
| 配件 |
|---|
| 配件（外部装置） | 能量散射X射线分析仪（EDS）、电子背散射衍射（EBSD）、
外部功能台（冷却台） |
|---|
*1.指正放大倍率为127 mm x 95 mm（4x5照片尺寸）的显示尺寸。
*2.指定放大倍率为509.8 mm x 286.7 mm（1,920 x 1,080像素）的显示尺寸。
