仪器:
多毛细管光束直径:
• 台式能量色散X射线荧光光谱仪.
• 硅漂移探测器(SDD).
• 多毛细管光路.
• 钼靶或钨靶X射线管(最大. 45 W; 45 kV, 1 mA).
• 5 位初级滤光片, 可程控(open, 3 Al, 1 Ni).
分析元素和镀层数:
• 元素范围Al (13) – U (92).
• 最高4层加底材
• 多大10个元素, 可自由定义.
多毛细管光束直径：
• 钼靶射线管:
• < 17 μm (峰高半宽于17 keV 处)
• < 30 μm (90% 强度位于17 keV)
• 钨靶射线管:
• < 20 μm (峰高半宽于40 keV 处)
• < 35 μm (90% 强度位于40 keV)
电脑及软件:
• XRF Controller 软件.
• Windows 10 compatible (64 bit).
• 镀层厚度基本参数法及经验系数法.
• 图形用户界面支持5种语言: 简体中文, 繁体中文, 英语,
日语, 韩语.
样品操作:
• 激光点辅助样品对位及固定焦距激光点对焦.
• 视野范围0.5 x 0.5 mm to 4 x 4 mm.
• 针对于4, 5, 6, 8 and 12” 晶圆的可选的晶圆模具(仅适用
于FT160. FT160h ).
样品腔室及样品台控制:
• 空气路径分析.
• 闭合式分析腔室.
• 台面移动精确度< ±2 μm.
• 样品承重: 10 kg.
• 游戏杆控制样品台走位.
