半导体微缩化和尖端材料的开发离不开纳米级的形态观察。日立高新一直致力于开发保证亚纳米级分辨率的扫描电子显微镜（SEM）。新产品 “SU9600” 通过继承前代机型＊1 所具备的 0.4 nm（30 kV）超高分辨率＊2，凭借稳定的高分辨观察与高通量性能，能够为新工艺新材料的研发评估提供强大技术支撑。SU9600 的特点：1. 秉承日立特有技术，实现高分辨观察2. 兼顾高效与高分辨的全新成像功能3. 通过多种功能实现自动化与易用性利用多种探测器可以得到二次电子、背散射电子以及透射电子信号。此外，可以通过控制二次电子信号的多少，针对不同材料特性提供多种观察方案。新开发的闪烁体式背散射电子探测器（VCD）提高了响应速度，可以更便捷地锁定观察位置。新增多种扫描功能，可以根据不同测试需求获取相应的图像，从而提升测试效率。各种扫描功能还可以与自动化辅助功能 EM Flow Creator＊ 联动。
